独家采购公示

一、采购人：信息材料与微纳器件制备平台

二、项目名称：信息材料与微纳器件制备平台**膜独家采购

三、采购内容：**膜

四、采购预算：**,***元

五、独家采购的说明：

本次拟采购**膜用于微纳平台硅通孔刻蚀工艺开发，硅通孔刻蚀工艺对**膜的性能要求极高，需具备优异的粘性、导热性和导电性，以确保静电卡盘对晶圆的稳定吸附及刻蚀过程中的散热，从而保证工艺的稳定性。平台通过使用日东*********型号**膜，成功开发出了高质量的硅通孔刻蚀工艺。为进一步确保该工艺的稳定性与一致性，需继续沿用该型号产品。上海瑞纮电子科技有限公司是此款**膜在国内的唯一授权代理商，综上，拟采用独家采购方式，向上海瑞纮电子科技有限公司采购该批次 **膜。

六、拟成交供应商信息：上海瑞纮电子科技有限公司

地址：中国（上海）自由贸易试验区德堡路**号*幢*层******室

七、公示期限：从****年*月**日至****年*月**日止。

八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：

对公示内容有异议的，可在公告期内以有效形式提出：

联系人：孙老师

联系方式：********* ****

联系邮箱：**********@****.**.**

投诉联系人：许老师

投诉联系方式：*************

投诉联系邮箱：*******@****.**.**