*.真空泵：干式螺杆真空泵； *. 抽速：≥***/*(****/***)； *. 极限真空：＜* **； *. 工作气压：**** **，可恒压控制； *. 抽真空时间：＜****； *. 真空计：皮拉尼真空计； *. 腔体：~Ø ******* **； *.数显样品台：Ø****可偏转数显行星样品台，旋转转速：********可调，偏转角度：** **度可调，靶基距*******可调； *. 溅射靶材：配金**靶(纯度**.**%，尺寸Ø ** **.***)和铂**靶(纯度**.**%，尺寸Ø****.***)，可实现单靶溅射、双靶交替溅射； *.溅射电源：恒功率磁控**溅射电源 ***. *** ，***. *** **，***** * **； **.操作方式：触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能； **.冷却方式：风冷； **.质保：不少于一年。

按行业标准提供服务