*、系统概述 *.* 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； *.* 防腐装置； *.*设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； *.* 通信接口，蓝牙连接 *、处理腔体 *.* 处理腔体内径不小于***毫米； *.* *****芯片尺寸至少满足********直径的材料，方片*********，无需更换片托； *.* 腔体具有易清洁的***天然聚丙烯材质； *、旋转马达 *.* 转动速度至少满足****,******， *.* 旋涂加速度不小于**,******/***； *.* 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±*%； *、控制系统 *.*工艺时间设定范围至少满足******.****/**** ，精度不超过*.**； *.*配有高精度***可编程的控制器，可存储不少于**个程序段，每个程序段可设置不少于**个不同步骤的速度状态； *、配套泵浦 *.* 配套真空泵系统：无油型 ****，****, 功率****； *.* 无油真空泵，真空度********，流量***/***； *、系统附件 *.* 原装进口水平测试仪； *.* 两袋密封圈； *.* 配有两套可更换的废液接收单元；

***. 设备保修期为设备验收合格后*年(保修期内免费提供非人为因素损坏的备件及服务)，并长期提供技术支持。 *** 机器发生故障时,供方在**小时内明确回复。 *** 如果未能解决问题,供方工程师应在*个工作日内与用方达成故障解决方案。 ***设备保修期内，损坏的备件原则上卖方应在*个工作日内明确回复备件的交货期限。并当供方国内仓库有备件库存时,在*个工作日内寄出。 *** 保修期结束后，供方应在收到买方定单后*个工作日内明确回复备件的交货期限。 *** 保修期结束后，供方应优惠供应相关备件。涉及的相关技术服务尽量免费解决，不可避免的收费项目，卖方应提供优惠，届时协商解决。 *** 供方承诺向用方长期优惠供应设备相关的耗材。