高真空镀膜系统可蒸镀多种金属材料（金、银、铜、铝等），也可以蒸镀多种有机材料（***、****、***、****、***等）,以及多种无机材料（***、****、****等）。 *. 真空系统 真空腔体由标准的***不锈钢焊接而成，内部形状为长方体，其尺寸为*****************，半导体级电解抛光处理，减少内部材料放气现象。真空腔体配备两个可 以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右 开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作 环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启 后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗， 配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。 腔体侧面装有抽气主管道，分子泵，插板阀，真空计，充气阀，角阀等真空配件，在腔体洁净，无污染的情况下，极限真空*.********，半小时可达到大气至********。该系统可以在不停分子泵的前提下，对腔体内部材料添加、更换，也可以取放基片。 *. 样品系统 该设备的样品架采用嵌入式结构，可搭载*片***********基片，或多个小片向下兼容，掩模版到基片距离小于*.***。 样品架通过旋转轴，磁流体，联轴器，电机等装置连接，从而可实现*~**转/分钟。配备*套基片挡板系统，可以根据实际工作需求开启与关闭。 售后服务承诺： ①产品质保期为*年； ②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）； ③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由我公司承担； ④建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行； ⑤在接到用户要求本公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于**小时内，赶到技术服务现场； ⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费； ⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。

按行业标准提供服务 *.供应商承诺保证原装正品，送货上门，上门安装调试，序列号可查； *.为保证使用要求，投标设备品牌、型号、规格配置、技术要求须与此项目申购内容完全一致； *.质保期壹年，三年内维护只收材料成本费，终生维护。