氩离子刻蚀枪（清采比选20260094号）采购公告
2026-01-23
北京 招标采购
氩离子刻蚀枪（清采比选20260094号）采购公告
北京-2026-01-23 00:00:00
北京-2026-01-23 00:00:00
氩离子刻蚀枪（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 氩离子刻蚀枪 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后***个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 氩离子刻蚀腔 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
氩离子枪（*** ***）技术参数说明 设备类型：抽取式离子枪（********* **** *** ***），用于样品表面清洗与离子刻蚀处理 工作气体：高纯氩气（**） 主要技术参数： •安装法兰：** ****（******* 非旋转法兰接口） •能量范围：*.** *** – *.** ***（可调离子能量） •电流密度：***;*** μ*/**²（测量距离 ** ** 条件下） •离子束流密度：典型可达 ** μ*/**²（氩气条件，束斑呈高斯分布） •工作距离：** – *** ** •束斑直径（****）：与离子能量及工作距离相关（例如：工作距离 ** ** 时约 * **） •工作真空度：***; *×**⁻⁴ – *×**⁻⁶ **** •烘烤温度（*******）：最高 *** ℃ •阴极类型：氧化钇涂层铱阴极（******* ***** ****** ******* *******） •插入长度：最小 **.* **（可定制） •工作环境温度：存储温度 −** ℃ ～ ** ℃ •相对湿度：≤ **% 系统配置要求： •需配套专用电源控制系统使用 •需配置气体泄漏阀（**** *****）实现精确气体导入与稳定工作压强控制 •适用于超高真空（***）系统环境，满足表面科学、薄膜生长、样品表面清洗与刻蚀等实验需求 功能特点： •高稳定性离子束输出 •可控能量与束流密度调节 •束斑均匀、空间分布稳定 •适用于 ***、*****、***、*** 表面处理系统等高真空平台集成 •满足科研级精密表面处理与离子刻蚀应用需求 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
附件下载：
