[**********]三维相变存储器阵列流片刻蚀工艺成交公告

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*.项目名称：三维相变存储器阵列流片刻蚀工艺

*.成交供应商名称：湖北九峰山实验室

*.成交供应商地址：华中科技大学

*.成交金额(折合人民币)：******元

*.付款方式：服务完成且验收合格后**个工作日之内付合同金额***%。

*.主要成交标的：

序号	服务名称	服务内容	服务期限
*	三维相变存储器阵列流片刻蚀工艺	.相变材料低温刻蚀工艺开发；.***工艺开发。	合同生效之日起*月

华中科技大学集成电路学院

****年**月**日