*，行程***** *，定位精度（未补偿）*μ* *，重复定位精度（双向）**** *，位置稳定度******** *，竖直/水平直线度（***/***）*μ* *，俯仰（***）**μ*** *，偏摆（***）**μ*** *，最大速度（无负载）*.**/* *，最大加速度（无负载）***/*² **，安装方向无限制 **，尺寸（长×宽×高）***×**×**.*** **，最大承载*** **，最大载荷限制**** **，侧面承载（*）*** **，倾斜力矩（绕*轴）*** **，倾斜力矩（绕*轴）*.*** **，倾斜力矩（绕*轴）*.*** **，滑块重量*.*** **，总重量*.*** **，编码器类型增量式 **，编码器信号**** / ***** **，电机类型同步、无铁芯 **，电机中间电路电压******* ** ** *****（*****） **，电机持续推力** **，电机峰值推力*** **，电机连续电流*.***** **，电机峰值电流*.***** **，电机电缆长度** **，耗气量**/*** **，供气压力**** **，平均无故障工作时长***;**,**** **，限位开关无 **，洁净室适用性适用 **，驱控系统标准********** ********* *** / **** / **** **，驱控系统高性能*** **********; *******

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