*****紫外波段，在***×*****照射区域内实现均匀性≥**%的平行光输出，需满足准直光学架构与真空环境适配性，通过准直透镜组将光束发散角压缩至极限，确保光线以近似理想的平行路径作用于工件表面，有效消除传统光源因散射导致的图形边缘模糊问题。功率可在******/**²范围内精准调节，工作时稳定性高达**%，结合*****℃可控温样品台，能够适配光刻胶预热、高温固化等多变工艺需求。此系统的真空环境可规避氧气对光敏材料的阻聚效应，实现无缺陷的图形转移。 大气环境高性能紫外光源固化平台：采用*****紫外波段，针对大气环境下的大面积快速固化场景优化，在***×*****照射区域内提供*******/**²的可调功率输出，均匀性稳定在**%以上。设备搭载高效热电冷却系统，确保满负载运行时表面温度低于**℃，从根源上规避热敏感材料的形变风险。其光强输出稳定性≥**%，支持毫秒级响应开关，可无缝集成于动态固化过程的精准控制。其*****波长与多数光引发剂吸收峰高度匹配，能显著提升固化效率与产品一致性。 真空深紫外光源固化系统 ：采用*****深紫外波段与真空环境工艺。在***×*****照射面内提供*******/**²的宽范围功率调节，均匀性≥**%，且功率波动控制在*%以内，确保深层固化能量的稳定传递。真空环境需彻底消除氧阻聚效应。系统采用多级散热模组，即使长时间满功率运行，设备温度仍维持在**℃以下，保障热敏感元器件的加工安全。整套工序全自动操作，带样品台，传送轴，真空腔体等，节拍为****每次

按行业标准提供服务，整机质保*年，关键配件质保*两年