低温半导体参数测试平台（清采比选20260021号）废止公告
2026-01-12
北京 招标采购
低温半导体参数测试平台（清采比选20260021号）废止公告
北京-2026-01-12 00:00:00
北京-2026-01-12 00:00:00
低温半导体参数测试平台（清采比选********号）废止公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
比选废止信息
| 比选废止理由： | 调整技术参数 无 | ||
|---|---|---|---|
| 采购项目名称 | 低温半导体参数测试平台 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告废止时间 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 器件高低温测试平台 | * | 套 |
| 品牌 品牌* | 傅测科技 |
|---|---|
| 型号 | ******** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.温度范围：***~****，样品环境在真空中； *.位移臂配置：总计配备*个探针臂。 *.位移臂的***方向移动范围：可移动的*、*、*方向距离分别不小于****、****、****。 *.探头：***接头镀金陶瓷低温探针，针尖材料为钨探针，带镀金*****保护层，针尖直径为**微米。 *.温控仪：三通道输入温控仪和两通道均为****的输出，测试分辨率为***，实现设备整体温度稳定性优于±*****，可实现样品台和防辐射屏温度监测和控制，以及其中一个探针臂的实时温度监测； *.系统采用同轴回路降温技术，减少液氮消耗，基础温度下防辐射屏温度低于***. *.显微镜：包含配套单筒显微镜，***相机和**.*英寸显示器，光学分辨率优于*µ*，带有同轴和环形光两种光源。 *.样品座：标准*英寸三同轴样品座一套； *.探针数量：探针总计不少于**套。 **.低温半导体参数测试平台真空度：①.室温：优于*×**^******；②.基础温度：优于*×**^******； **.液氮杜瓦：***液氮杜瓦，配备全自动液氮泵，可实现流速自动调节（*~*.***/***）及显示液位。 **.减振支架：设备配套气浮式减振支架，支架高度高度*****，双腔室空气弹簧隔振，带配套静音空压机和真空泵减震器。 **.分子泵组：前级泵为干泵，抽速不低于*立方米/小时/氮气，分子泵机组抽速不低于***/*@****@氮气，极限真空：****^*******,含复合真空计和配套系统连接使用的真空连接附件等。 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
