*、平面工件盘φ*英寸范围内，金属化膜层不均匀性≤*% *、样品材料距离*********** *、自动检测电源电压******* 和 ******* 伏，交流 **/****. *、电子枪带有*个****坩埚，最大功率：****，阳极电压：**** / *****两档可调 *、自动控制系统采用***、工控机、上位机控制软件共同控制，配置液晶显示屏。操作者可选择全自动及非全自动模式。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）