*. 测量频率**，***~*****. 测量时间：最快*** *. 基本精度：±*.**% *** *. **Ω以上的精度保证范围，也可安心进行低阻测量 *. 可内部发生**偏压测量 *. 包含测试夹具

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*、载物台微调**行程：*********，*轴行程：****，移动分辨率为*** *、载物台采用多圈吸附环固定样品（可定制多孔），真空吸附，真空开关独立控制 *、载物台尺寸：*****，平整度: ±*µ*, 粗调：***°无间隙旋转，微调±*° *、显微镜支架 *、******台面可以同时容纳*个直流探针座或*个射频针座 *、******台面*点支撑 *、目镜：*** ****：*.****.** 总放大倍数：******* ***光源 *、***成像 像素：**** 可拍照，录像和量测 *** **卡，内置操作软件 *、针座 ***移动范围：**.*** * **.*** * **.*** **、针杆 进口同轴线缆，一端为进口***公头，两根线长为*.**，** *** 双端口，**测试 **、包含真空泵 **、包含直流探针两根

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