真空镀膜设备（清采比选20260024号）采购公告
2026-01-08
北京 招标采购
真空镀膜设备（清采比选20260024号）采购公告
北京-2026-01-08 00:00:00
北京-2026-01-08 00:00:00
真空镀膜设备（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 真空镀膜设备 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后*个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 货到付款***% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学汽车研究所*** | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
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采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 真空镀膜设备 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.可以固定*个***** * *** **的基片托盘，附带水冷功能，向下兼容，采用嵌入式结构，旋转速度可调，并配有二块挡板，气缸驱动。 *.电机驱动实现连续旋转，最大转速可达**转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 *.*组蒸发源，热阻式，用于材料蒸发，可蒸发常见有机，金属及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥*****。 *.*台蒸发电源，功率≤*.***，精度*.**，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。 *.膜厚速率显示精度在±*.**Å/*，*个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近，膜厚仪支持共蒸发。 *.蒸镀速率，可蒸金属: 以À*为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±**%(*.****.*Å/*)，≤±*%(*.****Å/*)，≤±*%(***;**Å/*)；单片内膜厚匀性≤*%。测试方法：有效区范围内*×*排列*点测量：（膜厚最大 值*膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于** **×** **，测试设备可采用椭偏仪或台阶仪测量。 *.真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为*****************，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 *.真空腔体配备两个可以完全打开的门，可连接手套箱，腔体极限真空优于*.********，从常压到********不超过*****（充氮气保护） *.前级泵的抽速不低于*** ³/*，主泵采用抽速≥****/*的分子泵。 **.软件控制采用工控机控制模式，相关的操作均在电脑显示界面完成。 **.控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换，带有一键自动蒸镀功能。 |
| 质保期 |
清华大学
********** **:**:**
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