碳化硅器件加工(Dlmu-FS-20251354)单一来源公示
2026-01-04
辽宁/大连 招标采购
碳化硅器件加工(Dlmu-FS-20251354)单一来源公示
辽宁/大连-2026-01-04 00:00:00
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碳化硅器件加工(****************)单一来源公示
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碳化硅器件加工(****************)单一来源公示项目编号:**************** 项目名称:碳化硅器件加工公示时间:****年**月**日* ****年**月**日拟成交单位 :中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 采购预算:*****采购内容:碳化硅器件加工,具体请见附件质量要求与技术指标单一来源理由:本次采购的碳化硅器件加工,需要将*英寸的碳化硅晶圆切割成**×****的方形小片,以此为衬底制备碳化硅器件。加工需要在超高真空,采用 *****镀膜形成超薄二氧化硅中间层,采用***生长*** **厚金属**,使用磁控溅射设备在碳化硅外延片表面溅射一层*** **厚的金属*/金属**,加工时需要基片加热,加工过程需要特定的综合工艺制备方案。另外根据图形化需求,需要加工单位具有比较成熟的刻蚀技术。 经调研,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(苏纳所)的纳米加工平台长期从事半导体材料与器件、工艺相关研究,拥有完备的加工和测试设备。并且在碳化硅制备中拥有多项相关专利(见论证报告),具备丰富的工艺开发和整合经验,适于承接该类研发器件代工工艺技术支持与搭载流片服务。本次器件加工,涉及“碳化硅二极管及其制备方法”专利,支撑本次实验方案实施。因此,苏纳所是目前唯一能够满足本次器件加工要求并愿意提供服务的单位。申请采用单一来源采购。论证小组成员:曹菲,宋延兴,张维有关单位或个人如对本项目采用校内单一来源采购方式有异议,应在公示期内以书面形式向大连海事大学招投标与采购中心反映。 联系人:崔迪联系电话:***********实验室与资产管理处招投标与采购中心****年**月**日
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