*. *;输入电压：******，**/**** ▲*:输出功率：**~**** ，连续可调，稳定性：± *% *:反射功率：*** *:匹配：自动阻抗匹配(相应时间≤***）空气电容 *:直流电源工作气压范围：*~*****冷却: 强制空气冷却 ▲*:线圈直接：Φ******* *:工作频率：**.***** ▲*:外形尺寸：***************** *:供气系统：二通道 * **:流量计类型：进口品牌质量流量器 ▲**:流量范围：*********** **:接口尺寸：Φ*.****双卡套接头 **:工作温度：****℃ **：压差范围：*.****.**** * **：精度：±*% ** **：重复精度：±*.*% ** **：连接管道：采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管 ▲**：触摸屏控制：气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便 **：可自行选择切换不同气体密度，无需人工进行换算气体流量