*. 适用场景：***样品镀碳如***,****,****，***等场景和***镀碳 *. ★泵组：内置涡轮分子泵+无油隔膜泵 *.​抽速：≥分子泵** */* （**）+隔膜泵*.***/* *. 极限真空：***;****** ** *.​工作气压：≤*.*** *.​样品腔室尺寸：~***长****深****高 *.​★碳源：*.***碳绳，自动绕镀 *. ★样品台：直径****，偏置旋转样品台（避免碳渣掉落样品上），*** *****。 **.​蒸发碳源：脉冲喷镀，恒电流**电源，*******，******,****** **.​排气口：直径***快插接口，标配消音过滤器 **.​★操作方式：触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 **.​重量：约**** **.​尺寸：不大于~*****宽******深******高

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