*、气体种类：含三台流量计（气体可更换，保留多种气如*、**、**等体并通的可行性），气流量控制 ***** ****，流量精度±*% *.*.，；
*、等离子体源种类：***电感耦合等离子体，射频功率*****，频率**.*****；
*、离子能量控制范围：********；
离子能量控制精度：
离子峰值能量≤****，能量控制精度≤±***；
****≤离子峰值能量≤*****，能量控制精度≤±***；
*****≤离子峰值能量*****，能量控制精度≤±****；
*****≤离子峰值能量≤******，能量控制精度≤±****；
*、束流直径：引出束流直径：≥****；
*、引出栅极：单栅极、双栅极、三栅极引出电极可任意切换，栅极电压可更换为直流、脉冲电压（占空比可调），针对双栅极和三栅极可实现波形的同步开关，实现离子束和离子束交替引出的自中和离子束；
*、束流均匀性误差：均匀性误差：单栅极引出离子束≤±**%；双栅极引出离子束≤±*%；三栅极引出离子束≤±*%；
*、离子束准直性：单栅极引出离子束发散角≤**°；双栅极引出离子束发散角≤*°；三栅极引出离子束发散角≤*°；
*、中和器：热丝电子枪，能量：≤*****；引出电子电流波动≤±*%；
*、样品台：样品台*轴最大可抬升倾斜角度**°，配有冷水机装置，实时监测控制样品台温度，温度控制精度≤*℃；
可施加任意不同波形偏压（偏压空间预留）；
样品槽尺寸：最大二英寸**；样品槽一：放置***（阻滞势分析仪离子能量检测装置）；样品槽二：放置待加工样品；
***位移机构：每个样品槽能在辐照区运动范围大于ɸ****能够保证***能完整检测到两英寸束流面积内的每个位置的离子能量和密度；
**、真空抽气系统：配用机械泵+分子泵，极限真空：≤******；
**、表面电位监测反馈调控系统：栅极引出离子束流时，实时监测束流样品台的表面电位，通过中和器进行反馈调控，实现表面电位波动范围≤±**；
**、离子能量检测反馈调控系统：实时采集并处理来自阻滞势分析仪（***）的离子能量分布（****）数据，以此作为反馈量，动态调节栅极电压和样品台偏压；
**、控制系统：软件应提供基于***的控制核心，实现对等离子体源功率、气体流量、三种引出栅极电压、中和器发射电流及样品台水冷温度等关键参数的独立或协同精准控制；为支撑离子能量反馈调控，软件需能实时采集并处理来自阻滞势分析仪（***）的离子能量分布（****）数据与样品台表面电位信号，并以此作为反馈量，动态调节栅极电压或中和器参数，以实现对离子能量和样品表面电位的主动稳定控制；软件须提供标准数据接口，支持与上位机集成及全过程数据导出分析；允许高级用户调整各控制回路的***参数，保留后续开发新控制算法（如自适应控制）的空间。
