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采购计划信息
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申报计划月份：
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****年*月份
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计划编号：
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***********
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申报部门：
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集成电路学院
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填表人：
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***
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填表时间：
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**********
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采购项目信息
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采购项目(品目)名称：
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半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）
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采购类型：
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招标采购
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预算：
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*,***,***.**
元
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采购方式：
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公开招标
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联系人：
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***
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联系电话：
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***
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备注：
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招标设备信息
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设备名称
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类别
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单价(元)
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数量
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需求时间
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光刻*通风橱（半自动显影台）*二次配系统
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实验室设备
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*****.**
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套
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**********
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光刻*全自动涂胶显影机*二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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刻蚀****二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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扩散*灰区**二次配系统
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实验室设备
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*****.**
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*
套
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**********
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扩散**氧化扩散炉***二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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刻蚀****二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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光刻*通风橱（手动显影）*二次配系统
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实验室设备
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*****.**
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*
套
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**********
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扩散**低压化学气相沉积系统*二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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镀膜*等离子体原子层沉积*二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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光刻*通风橱（匀胶、前烘）*二次配系统
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实验室设备
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*****.**
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*
套
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**********
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镀膜*磁控溅射机*二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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扩散**氧化扩散炉***二次配系统
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实验室设备
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******.**
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*
套
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**********
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采购(招标)委托
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委托编号：
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************
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经费项目名称：
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面向行业领域应用的智能检测关键技术,智能伺服电机基础理论与原型器件研制,
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经费来源：
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发展规划处、学科建设办公室、高等教育研究所,
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支出科目代码：
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****************,****************,
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设备用途：
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教学
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委托经办人：
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***
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联系电话：
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***
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方案附件：
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***
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