半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）

2025-12-18

广东/广州招标采购

半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）
广东/广州-2025-12-18 00:00:00

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采购状态

确认评审结果

采购计划信息

申报计划月份：

****年*月份

计划编号：

***********

申报部门：

集成电路学院

填表人：

***

填表时间：

**********

采购项目信息

采购项目(品目)名称：

半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）

采购类型：

招标采购

预算：

*,***,***.** 元

联系人：

***

联系电话：

***

备注：

招标设备信息

设备名称	类别	单价(元)	数量	需求时间
光刻通风橱（半自动显影台）二次配系统	实验室设备	***.	* 套	**********
光刻全自动涂胶显影机二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
刻蚀****二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
扩散灰区*二次配系统	实验室设备	***.	* 套	**********
扩散氧化扩散炉*二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
刻蚀****二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
光刻通风橱（手动显影）二次配系统	实验室设备	***.	* 套	**********
扩散*低压化学气相沉积系统二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
镀膜等离子体原子层沉积二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
光刻通风橱（匀胶、前烘）二次配系统	实验室设备	***.	* 套	**********
镀膜磁控溅射机二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********
扩散氧化扩散炉*二次配系统	实验室设备	****.	* 套	**********

采购(招标)委托

委托编号：

************

经费项目名称：

面向行业领域应用的智能检测关键技术,智能伺服电机基础理论与原型器件研制,

经费来源：

发展规划处、学科建设办公室、高等教育研究所,

支出科目代码：

****************,****************,

设备用途：

教学

委托经办人：

***

联系电话：

***

方案附件：

***

招标项目信息
半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购（第二批）
	项目招标编号：
	招标采购申请时间：		**********
	招标采购方式：		公开招标
	总预算（元）：		,,.*
	招标代理机构：		广东省机电设备招标有限公司
	收到初稿时间：		**********
	招标文件审核时间：		**********
	招标公告时间：		**********
	开标时间：		**********
	子包一
		招标执行信息：	委托申请招标采购申请招标文件制作招标文件审核招标公告招标结果公告中标通知已签合同已供货已验收 *已付款
		预算（元）：	,,.*
		招标结果：
		招标结果时间：
		投标供应商：	***
		中标供应商：
中标金额（元）：		.*
中标联系人：
中标联系人手机：
收到中标通知书时间：
合同号：		***
签合同时间：		***
货期（天）：		***
预付款（元）：		***	*
应到货时间：		***
应验收时间：		***
应付款时间：		***
上传合同文件：		***
供货时间：		***
验收时间：		***
付款时间：		***
付款金额（元）：		***	*
备注：