面向介观尺度的3D微纳加工套件及光刻胶（清采比选20252498号）采购公告
2025-12-18
北京 招标采购
面向介观尺度的3D微纳加工套件及光刻胶（清采比选20252498号）采购公告
北京-2025-12-18 00:00:00
北京-2025-12-18 00:00:00
面向介观尺度的**微纳加工套件及光刻胶（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 面向介观尺度的**微纳加工套件及光刻胶 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个自然日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 货到付款***% | ||
| 国外合同付款方式 | 无 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
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采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 面向介观尺度的**微纳加工套件及光刻胶 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | ********** |
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| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
面向介观尺度的**微纳加工套件（** **） 适用于微米以及介观尺度器件的加工；可使用镜头浸入式加工模式或者普通油浸镜头加工模式；使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = *,*** µ* 硬件及耗材： 浸入式镜头物镜** **； ***；**=*.* 样品架 适用于****技术的衬底；** * ** * *.* **³, 硅片， **片. ****光刻胶；**克；*瓶每瓶**克装 介观尺度**加工挡胶圈 软件及支持 ********流程参数** **实心：***，****，硅片 该套件的远程安装支持 *小时的远程用户培训 *年针对** **模块使用*********在线支持库的用户支持；**个用户许可证 光刻胶 *******： ** *, * * * * 瓶 光刻胶 ******; ** *, * * ** * 瓶 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
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