卧式桶型真空室尺寸约Ф***** ****** 溅射室极限真空度:≤******** (经烘烤除气后); 从暴露大气状态下,溅射室**分钟可达到****** **; 系统停泵关机**小时后真空度:≤*.***; 磁控安装靶材:其中一个可以溅射铁磁性材料; 基片尺寸和数量:最大可放置*片*英寸圆形样品; 基片加热区间:室温～***°*,转速连续可调.基片台集成偏压功能 三路***流量分别为:*******,*******,*******; 复合分子泵及变频控制电源:*台（抽速≥***升/秒）; 旋片真空泵:*台（抽速≥*升/秒）; 合理配置多种电动,气动真空阀门控制分子泵,旋片泵,真空腔体的气压状态 设备安置在钢型材焊接成的台架上,快卸围板表面喷塑处理;机台表面用不锈钢蒙皮装饰;四支脚轮,可固定,可移动;

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