[**********]高密度压力传感阵列加工成交公告

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服务内容

服务期限

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测试对象为阵列芯片表面、截面及单元局部区域，重点观察阵列单元（微柱/微凸点）的形貌、尺寸一致性与排列均匀性，排查变形、缺失等缺陷；通过 *** 制样分析各层界面结合状态，验证无剥离、空隙问题；评估光刻、刻蚀等工艺精度。技术参数：加速电压 ******，放 大倍数 ********* 倍，采用二次电子/背散射电子成像模式。样品需经无水乙醇超声清洗，绝缘样品喷金（******）处理。

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针对敏感层（***/**** 等）、电极层（**/** 等）开展分析，定性确认目标元素存在性、排查杂质污染；定量测定元素含量占比，验证材料配方准确性；通过 ******* 分析元素分布均匀性。技术参数：加速电压 *******，探测范围 ****，定量精度±*%（主要元素）。样品前处理同 *** 要求，确保表面清洁、导电性良好。

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聚焦敏感层材料，比对标准 *** 卡片确认物相组成（如 *** 钙钛矿相），排除杂相；计算结晶度以保障敏感特性稳定；通过衍射峰偏移量分析晶格常数与残余应力。技术参数：** *α射线源，扫描范围 *θ=**°***°，步长 *.**°/步，管电压 ****、管电流 ****。样品需切割为 ****×****，表面抛光至 **≤*.*μ*。

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获取阵列表面三维形貌，计算 **/** 粗糙度参数；精准测量单元高度、直径等纳米级尺寸，验证批量一致性；可选测敏感层纳米硬度与弹性模量。技术参数：轻敲模式，扫描范围*×*μ*~**×**μ*，垂直分辨率≤*.***。样品经超纯水超声清洗后氮气吹干，固定于样品台避免振动。

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测量敏感层厚度（不同点位 *** 次测量取平均值）、电极台阶高度，评估批量制备一致性；扫描表面获取轮廓曲线，分析整体平整度。技术参数：接触式扫描（金刚石探针），垂直分辨率≤*.***，水平分辨率≤****，重复性误差≤*.*%。样品需清洁表面，确保台阶区域无损伤、无杂质。

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采用准静态法测量敏感层纵向压电常数 ***（单位 **/*），评估压力*电荷转换效率，重复测量 *** 次取平均值保障数据可靠。技术参数：测试频率 *****，压力范围 ****，测量精度±*%。样品需切割至合适尺寸，确保电极接触良好。

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