*.靶（上部电极）：材料：金，直径：****，厚度：*.***　纯度：**.***% *、真空样品室： 外部尺寸：直径：*****，高：***** 内部尺寸：直径：*****, 高：***** *.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：**** *．工作真空： *×****—*×**** **** *.离子电流表： **** *.数显计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。 *.溅射电压：******** *.飞越真空泵（*****）:*.*升/每秒 *.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体 **．针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ***.***软管 **. 外型尺寸：*****×*****×*****

设备自交货之日起算，质量保修*年。