• 标配温度范围：****~***℃ • 升温速率最快**度/***，降温速率最快**度/*** • 温度分辨率及稳定性：± *.*℃ • 高精度温度控制器和温控软件（可编程） • 控温方式：***闭循环控制 • 温度传感器及数量：*****，* 个 • 致冷方式：液氮（泵控制），含**小液氮罐 • 标配*个探针臂，**行程：*********，移动精度±***，配置真空中用三同轴接口；*.*米三同轴线*根，漏电流*****以内 • *轴行程****+****，粗调精度***，微调精度±*** • 载样台材质及尺寸：紫铜镀镍，******* • 配置光学观察孔 φ****（以实际尺寸为准） • 腔体真空度：*×**^**** 可充入保护气氛（氮气）；兼容分子泵高真空度，系统极限真空优于 **^****** • 预留冷水机接口，用于腔体外壳冷却 • 真空状态下液氮温度测试无结水结霜情况 • 整机全国联保，保修 ** 个月

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