招标公告

*. 招标条件

本招标项目涂胶显影机及关键零部件招标人为西南技术物理研究所，招标项目资金来自自筹资金，出资比例为***%。该项目已具备招标条件，现对涂胶显影机及关键零部件采购进行国内公开招标。

*. 项目概况与招标范围

*.*招标编号：********************

*.* 项目编号： ***************** 内部编号：***************

*.* 招标项目名称：涂胶显影机及关键零部件。

*.* 数量：*套。

*.* 主要功能要求：

涂胶显影机（含配套设备）配置*寸、*寸兼容的*个涂胶单元和*个显影单元（****）模块，且需与*.**μ*光刻机进行******通线运行；配置*寸、*寸、*寸兼容的涂胶单元和*个显影单元（****）模块，*******工作。配置的涂胶单元要求能够实现在晶圆上各类光刻胶的高均匀自动涂胶，且具备去边胶、背面清洗、增粘等功能；配置的显影单元可实现各类光刻胶的高均匀自动显影，且具有喷淋显影、浸泡显影、背洗等各种可编辑显影模式；配置高控温精度热板和冷板单元，用于涂胶后烘胶和冷却工艺；各单元之间配置机械臂，要求*寸、*寸、*寸、*寸晶圆可自动传片。

*.* 交货地点：西南技术物理研究所。

*.* 交货期：合同生效后**个月内。

*. 投标人资格要求

*.*投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

*.* 资质要求：/。

*.* 财务要求：投标人应具有健全的财务制度，投标人为企业单位的，应提供近*年（****年至****年）经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，成立不足*年的，可提供成立以来的经审计的财务会计报表。上述财务会计报表至少应包括审计报告正文（由会计师事务所出具的审计报告必须由会计师事务所盖章、注册会计师签名和盖章，未经签字盖章的审计报告视为无效审计报告，将被否决）、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件，缺一不可。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务状况表。投标人为事业单位的，不作要求。

*.* 业绩要求：投标人应提供至少*份****年*月*日至今已签订的本次招标类似产品供货业绩，提供合同复印件，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订或生效时间、标的物名称（如有必要提供对应技术协议或技术规格书）等主要内容，未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。

*.* 其它要求：本项目不接受代理商投标

*.*本次招标不接受联合体投标。

*.* 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

*. 招标文件的获取

*.*凡有意参加投标者，请于****年**月*日至****年**月**日**时**分**秒（北京时间，下同），购买招标文件。

*.*招标文件每套售价***元，文件售后不退。投标人需在中国兵器电子招标投标交易平台（网址：***.*****************.***）注册后，在线购买招标文件，付款后可自行下载招标文件。请投标人务必在招标文件发售截止时间半个工作日前登录平台，完成购买操作，否则将无法保证获取电子招标文件。如有疑问，可致电兵器电子招标投标交易平台服务热线************。

*.*电子招标投标交易平台将在发售期结束后自动关闭参与入口，未能按时完成参与、购买、下载招标文件相关工作的潜在投标人不得参与投标。

*. 投标文件的递交

*.*投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）：****年**月**日*时**分(北京时间)。投标人应在投标截止时间前通过中国兵器电子招标投标交易平台使用**数字证书加密并递交电子投标文件，并在此时间前递交单独密封的纸质版投标文件。

*.*递交单独密封的纸质版投标文件的递交地点：金发科技国际科创中心*栋*楼（四川省成都市双流区牧华路三段***号）逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

*. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台、中国兵器电子招标投标交易平台和中招联合招标采购平台上发布。

*. 联系方式

招标人名称：西南技术物理研究所

地址：四川省成都市人民南路四段七号

联系人：谭杨

电话：************

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角**号大楼

售卖联系人：李经理

电话：************

项目负责人：任娇阳

电子邮件：**********@******.***