脉冲激光沉积设备（清采比选20252344号）采购公告
2025-12-03
北京 招标采购
脉冲激光沉积设备（清采比选20252344号）采购公告
北京-2025-12-03 00:00:00
北京-2025-12-03 00:00:00
脉冲激光沉积设备（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 脉冲激光沉积设备 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 杨永涛 咨询通道已关闭 | 联系电话 | ************ 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，到货后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 脉冲激光沉积设备 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
* 超高真空主腔 *.*超高真空主腔无磁，不锈钢材质，腔体内部电解抛光处理 *.*抽真空后腔体背底真空优于******。 *.*主腔体法兰包括：快开门(带玻璃观察窗)，水平激光入口，双面镀膜石英窗口，差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空，分子泵抽气口，真空计入口，气体入口，样品台入口，样品挡板入口，红外测温和加热以及观察，镀膜视窗 *真空获取和测量系统 *.*主腔体分子泵，抽速≥*** */*，分子泵和主腔体之间通过气动闸板阀隔离，前级涡旋干泵抽速≥****/*。 *.*主腔体配有全量程真空计*个（*×**** ****到**** ****） *.*配有*套薄膜规，量程*.***~*.* ****，其精度不低于*.*%读取值，用于精确控制生长时的工艺压力，薄膜规的读数分辨率不低于*.***%** *样品台和激光加热系统 *.*扫描靶台，四轴运动：**:±**.***，*:**** *.*红外激光加热器*** *，温度******* ℃ *.*红外测温仪，测量范围********℃ *.*红外激光和测温光路集成模块，具有易操作光路调试系统，光斑大小方向可调 *.*红外加热***温度控制器，样品升温速率****℃/***可调，精度*.*度 *.****样品托，样品最大尺寸*英寸 *扫描靶台系统 *.*四轴靶台；无磁钛合金靶托；插拔式扫描靶托 *气路 *.*高精度流量控制计，流量范围：***** ****；高压气体入口阀 *系统支撑台和激光入口光路 *.*可移动铝型材桌，带脚轮和水平脚架；进口高损伤阈值*****光学透镜，焦距*=*****；透镜支架；透镜滑轨 *可拓展激光防护架 *.*铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩，可拓展到多个系统；进口*英寸激光反射镜和配套反射镜支架 *控制和辅助系统 *.*工艺气压控制、样品台加热软件控制模块 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
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