*. 真空泵：高性能旋片泵 *. 抽速：≥***/* *. 普通工作气压：******，恒压控制；极限真空≤*** *. 抽真空时间：***;* *** *. 真空规：皮拉尼真空计 *. ★数显样品台：？****旋转偏转样品台，旋转转速：********连续可调，偏转角度：± **°连续可调，靶基距*******连续可调 *. ★磁控溅射靶：靶材尺寸？**** *. ★溅射电源：恒功率**溅射电源***.***,***.*****,****** *. 操作方式：触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 **. 重量：主机≤**** **. 尺寸：≤*****宽******深******高 **. 电源要求：******** **，**/****接地三脚插头 **. 配置要求：设备主机需包含真空油泵、旋转样品台、过滤器各*套；Ф****金靶材*块。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）