*、* 寸工业全彩触屏人机界面与高精度伺服电机
特氟龙或金属内腔，钢化玻璃透明盖
可处理基片范围：*********~*********方片（其他规格可定制）
适合处理较大或较重底物
标配排废接口，出口在设备底部，方便接至厂务排废
一次性内衬设计，方便手套箱内使用并及时清理排废减少氛围污染
盖子开关安全个防护功能
可选配自动滴胶装置
★*、转盘加热： 室温****℃
温度分辨率： *.*℃
转速范围： **********
转速分辨率： ****
加速度可调范围： **********/*
最大单步时长： *****
时间分辨率 ： *.**
配方功能： 最大 ** 组配方存贮（更多可选）
滴胶端口： *路自动滴胶端口（可选）
单步和多步旋涂功能： 多步支持 ** 步程序（更多可选）
标配卡爪载物盘（支持定制）： 适合*********~*********方形基片
排废功能集成在设备底部连接至废液收集罐
电源输入： 宽电压输入 **********
外形尺寸： *****(*)******(*)******(*)
气泵参数： ******/负压范围*~******
气泵尺寸： *****(*)******(*)******(*)
★*、* 寸工业全彩触屏人机界面与高精度伺服电机
** 内腔，钢化玻璃透明盖
数字化显示真空吸附压力
可处理基片范围：小于 **** 碎片至 * 寸圆形底物
标配漏胶过滤装置、漏胶检修接口和防堵胶功能
盖子开关安全个防护功能
标配手持对中器
可升级带光谱原位分析功能
可选配升级自动滴胶装置
*、转速范围 ***********（空载）
转速分辨率 ****
加速度可调范围 ************/*
最大单步时长 *****
时间分辨率 *.**
配方功能 最大 *** 组配方存贮
点胶端口 单路自动点胶端口
单步和多步旋涂功能 多步支持 *** 步程序
标配三种真空载物盘（支持定制） ****、****、****、*****
真空系统 实时显示真空压力值
电源输入 宽电压输入 **********
外形尺寸 *****(*)******(*)******(*)
气泵参数 ******/负压范围 *~******
气泵尺寸 *****(*)******(*)******(*)
