一、精度及误差 （*）阶跃响应时间（全行程*%）：***** （*）阶跃响应时间（全行程**%）：****** （*）跟踪误差：≤***** （*）线性度：**.*% （*）增益误差：＜*****. （*）零点偏移（批量原点误差）：＜*****. （*）长时间漂移（连续工作*小时）：＜*.*****. （*）比例漂移：＜*****/℃ （*）零点漂移：＜**μ***./℃ （**）工作波长：****~******（高功率镀膜） （**）水冷控制：水温 **±*℃

设备自交货之日起算，质量保修*****年。