*.腔室结构：外热式单腔腔室、样品台可放下最大* 英寸晶圆、反应温度：最高***℃, 温度控制精度±*℃; *．前驱体源系统：* 路标准加热液态前驱体源，配置******** 高温快速*** 阀（响应时间＜****）、手动阀、**** 不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度******℃, 控制精度±*℃; * 路常温源，配置******** 快速*** 阀（响应时间＜****）、手动阀、 **** 不锈钢源瓶；含两路载气系统，全套******** 管路+*** 密封，前驱体源管路具有在线清洗功能。 *．真空系统：整机极限真空＜*×******** ，真空漏率＜*×**** ** ·*/*；腔室抽气管路配有加热套，加热温度最高***℃;配置机械泵，额定抽速≥***³/*；真空泵前级配置热阱，加热温度最高***℃, 用于吸附、分解未反应的前驱体源；真空测量配置双真空计,真空计前设有保护真空计的高效过滤网以 及气动隔膜阀； *.主机：高精度***+工控机沉积自动控制系统，满足高精度表面原子级研究需求；可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数； *.技术指标：在直径*英寸晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积*** 循环氧化锡，以晶圆上至少* 个均匀分散点进行膜厚测试， 膜厚非均匀≤±*%为合格

(*) 质保期限为*年；(*) 提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受甲方的电话技术咨询，如故障不能排除，须在**小时内提供解决方案和现场服务，待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况，无法现场解决问题的，需提供备用货物服务保障正常工作。(*) 其他：自验收合格之日起计算，质保期为壹年。质保期内乙方服务须及时有效，在接到甲方售后需求时立即响应，并按质量保证期的承诺免费修理或更换故障设备或零部件。公司根据客户反馈和实际应用情况三年内免费更新升级，终身维护。如在规定时间内不能解决设备故障，提供同型号的设备给购方替用，所产生费用由乙方承担。质保期期满后，乙方有义务继续帮助甲方进行维护维修，所产生费用按成本由甲方承担。因维修服务导致甲方在维修期内无法使用仪器设备，质保期相应延长与维修期相同的时间