8英寸手动探针台（清采比选20252306号）采购公告
2025-11-28
北京 招标采购
8英寸手动探针台（清采比选20252306号）采购公告
北京-2025-11-28 00:00:00
北京-2025-11-28 00:00:00
*英寸手动探针台（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | *英寸手动探针台 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后*个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| *英寸手动探针台 | * | 套 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*. 台体： ① 尺寸: ≤*****长×*****宽×*****高； ② 探针平台具备旋钮快速升降手柄（提供实机照片），并且调节档位不少于两档，粗调优于***和微调优于***μ*，探针平台可以上下微调，行程≥****，升降精度≤*µ*； *. 样品台及温控系统： ① 直径不小于*英寸，平整度≤±**µ*； ② *****轴行程：≥*****×*****×****，每个轴都带有自锁功能；*轴旋转行程为≥±**°，卡盘角度可旋转微调，调节精度优于*.***°； ③ *****采用气控式卡盘移动技术，气浮具备快速移动功能， *轴可单独移动，*轴可单独移动，**轴可同步移动，**轴可同时锁死； ④ 具备微调移动模式，卡盘*/*轴为无间隙移动，移动精度优于*µ*； ⑤ 真空吸附方式具备中心吸附孔和外围多孔吸附，具有*、*、*、*英寸以及中心真空吸附孔，采用独立控制方式；并配有****** *型圈至少两根，全氟复合材料：****，尺寸***.**×*.****。 ⑥ 卡盘三轴结构，带顶板层，防护层和接地屏蔽层；卡盘顶板层的电学独立悬空，具备背电极接口；卡盘漏电流≤*****@***@**℃；（提供实测设备卡盘漏电测试数据图）；卡盘具备加热功能，温度范围为室温~***℃，温度设置和显示分辨率优于*.*℃； ⑦ 温度稳定性：优于±*.*℃，温度均匀性：室温~***℃ ***;±*.*℃；***℃~***℃：±*.**%；***℃~***℃：±*% ; ***℃~***℃：±*℃；（提供温度均匀性实测数据报告） ⑧ 卡盘温度升降温时间：室温~***℃: 不大于** ***；***~***℃: 不大于** ***；***℃~室温: 不大于** ***； ⑨ 卡盘温控系统可触摸屏控制，可编程控制升温，带通信接口，有温度补偿功能，可以精确显示***** 表面真实温度，可编入集成测试软件系统； ⑩ 配有水冷机和管路，用于卡盘的降温和卡盘与卡盘安装底座间的温度隔离； *. 光学系统：配备光学显微镜，***相机，**英寸及以上高清显示器 ① 可调节显微镜**轴移动范围不小于* **** × * ****，精度优于*微米；显微镜*轴可气动升降大于等于****； ② 目镜倍率不小于**倍，总的放大倍率范围优于**倍~***倍，带环形***光源； ③ 配有显微镜调焦机构：* 轴移动行程 不小于****； ④ 具备***接口； ⑤ 具备****接口，高清*/*英寸***相机，分辨率优于****×****（*****），帧率优于*****，带**卡可存储无压缩***格式图片，带****视频线缆，*米长； ⑥ 配置**英寸及以上高清显示器，带**** 和 ***接口； *. 直流探针座及针座平台： ① 探针座尺寸不大于*****长×*****宽×*****高； ② 探针座***** 方向的移动行程分别为≥****，移动分辨率优于*.*μ*/°，线性移动，磁力吸附，带开关，针座螺纹间距*** ***及以下，数量不少于*套； ③ 配有开尔文探针夹具，带两个独立的****公接头，漏电流优于*****/*** @**℃，数量不少于 *套； ④ 配有开尔文探针夹具安装转接块，数量不少于 *套； ⑤ 配有开尔文探针夹具使用同轴探针（针尖直径不大于*μ*），数量不少于 *套； ⑥ 配有开尔文探针夹具使用线缆（每套含两根线）接头形式为****母转三轴接头公，漏电流优于*****/*** @**℃，数量不少于 *套； ⑦ 探针平台升降调节功能可加装探针卡，针卡可重新定位； *. 配备屏蔽箱，具有开门结构，空气弹簧结构，带接地端子，左右两侧有转接头安装板，每侧不少于*个孔位；后部有隐蔽型线缆出口；屏蔽箱独立于防震平台设计； *. 配备防震桌：固有频率＜*.***~***，同负载和实际使用情况相关；平面度：*.**~*.****/*****×*****；台面加支架总高度低于*****，总高度可调范围优于***~+****； *. 配备探针电学测试系统：***网络存储数据备份模块，不少于四核心四盘位，配备不少于*块***硬盘；配备数据处理模块：显示屏不小于**英寸、处理器不低于**(**+**核)、内存不低于***、存储容量不低于**固态； *. 配备射频磁吸针座含针臂（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 配置左、右手系射频针座各不少于*支； ② ***行程不小于**.***/**.***/**.***。特征分辨率***;*μ*，丝杆周圈分辨率优于***μ*； ③ *****轴调节范围±*°，*********尺寸不大于****×****，磁吸或真空方式； ④ 针座侧板具有阵列丝孔位置，方便调整探针的*方向安装高度； ⑤ 针座具备高精度交叉滚子轴承设计方案，三个方向独立性稳定可靠性； ⑥ 具备过行程保护机制避免针座锁止产生应变，破坏精度； ⑦ 满足晶圆级射频测试，具备直流混合多触点测试功能。 *. 配备超高频**至*****波段共面波导探针（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 配备超高频波段共面波导探针，频率范围********，探针同轴接口*.****（******），**°斜角或者**°直角可以根据电缆灵活选配。 ② 插入损耗＜*.***@*****@*******μ* *****； ③ 针尖结构与*****间距：***、***μ*和***μ*； ④ 探针承受温度范围***℃****℃；最大**电压/电流：****、**；承载最大射频功率***@****，承载最大射频功率**@*****； ⑤ **接触电阻典型值＜****Ω（**)； ⑥ 寿命＞***万次@** ***；可测试最小***尺寸：**μ*×**μ*； ⑦ 数量：***** ***μ*规格*支，***** ***μ*规格*支； **. 配备超高频**至*****波段校准片（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 校准片支持***** *******μ* 间距*****及以下频率探针校准，支持****、****、****、***、***、********** ***等校准算法； ② 包含不少于**组***校准图案，每组含有****、*****、****图案，且**Ω ****直流电阻的精度≤±*.*%，另外含有不少于*个****图案； ③ 校准基片除了校准的图案外，还需携带不少于*组**条验证延迟线, 分别为*.***、***、****、****、****，可用于校准质量验证以及支持***等校准算法； ④ 校准片上包括探针对准***** ****的图案，以提升扎针效率和质量； ⑤ 数量：不少于*片 **. 配备探针接触调水平片 ① 配置接触调水平片不少于*片，用于调整射频探针针尖的共面性； ② 基板尺寸近似****×****，陶瓷材质，表面镀金。 **. 配备高稳定性裸纤光针及支架 ① 配置多模带****透镜光波探针及裸纤探针各一套。 ② 波长范围************，插入损耗＜*.***； ③ 尾纤接口**/***； ④ 裸纤针规格可以根据需求进行更换，可选单模/多模、****/斜面针尖； ⑤ 具备找光效率高优势，便于快速定位。针臂与铰合支点齐平，且肘臂旋转到最低位置时，裸光纤头与竖直方向≤*°； ⑥ 尾纤固定在刀架肘臂槽内，且光纤针尖露出肘臂距离可调； ⑦ 具备手动单纤耦合模式。 **. 配备射频线缆（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 射频频率：**至***； ② 阻抗：≤**Ω； ③ 插入损耗：≤*.* **； ④ 回波损耗：≥**.* ** ** ** * *****； ⑤ 接口方式：*.****，一端为公头一端为母头； ⑥ 相位稳定性与挠曲：≤**º@*****； ⑦ 振幅稳定性与挠曲：≤±*.****@*****； ⑧ 线缆长度：不少于*****，线缆整体均带铠甲，数量不少于*条； **. 配备原厂半自动控制软件，并提供芯片测量和晶圆图形创建、测试结果分***显示、多针编辑、晶圆图形文件导入、测试仪器参数修改和数据保存管理等实机演示操作视频； **. 提供原厂射频测试校准软件，支持***、****、****、***等不同校准方法； **. 如有部分配件为进口产品，需提供原厂授权证书； **. 设备台体与卡盘为同一厂商（提供品牌证明）； **. 提供厂家售后服务承诺书（盖单位公章）； **. 提交附带详细配置清单的报价单（盖单位公章）。 **. 合同签订后**日内到货。 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
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