8英寸匀胶机（清采比选20252307号）采购公告
2025-11-28
北京 招标采购
8英寸匀胶机（清采比选20252307号）采购公告
北京-2025-11-28 00:00:00
北京-2025-11-28 00:00:00
*英寸匀胶机（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | *英寸匀胶机 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后*个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
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采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| *英寸匀胶机 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥**,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.基片尺寸：最大晶圆*英寸，向下兼容至最小直径***碎片 *.转速范围：最低转速≤*****，最高转速≥********（空载）（提供测试数据报告、实物照片和测试视频） *.转速精度及重复性：±**** *.加速度：≥********/*（空载）（提供测试数据报告、实物照片和测试视频） *.工业级伺服电机系统和高级***控制 *.全彩触摸屏操作，中文操作界面，可存贮程序要求：≥**个旋涂程序，每个程序≥**步，每步转速、转动时间和加速度可调 *.单步最高转动时间： ≥***** *.旋转时间分辨率：*.** *.程序控制模式带正反转晃动功能，带程序周期运行设置功能 **.匀胶腔盖带安全真空互锁开关 **.为防止电机轴进液堵胶，带有工业化设计的******过滤功能和满液位传感功能。（提供原厂技术设计图和实物照片） **.外型尺寸不大于*****(*)******(*)******(*) **.配置载物盘：*英寸、*英寸和*英寸标准晶圆载物盘各*个（***或****材质） **.片内均匀性：≤±*%（*英寸晶圆，胶厚*微米左右，涂*片）（提供测试报告） **.片间均匀性：≤±*%（*英寸晶圆，胶厚*微米左右，涂*片）（提供测试报告） **.提交附带详细配置清单的报价单（加盖单位公章） **. 提交原厂商售后服务承诺函； **.供货期：合同签订起*天内到货 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
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