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招标项目编号：*****************

项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所****晶圆双面对准与光刻系统

项目名称（英文）：**** ***** ************ ********* *** *********** ******

招标人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

招标机构：上海中招招标有限公司

招标方式：公开招标

招标结果：重新招标