[HF20253541]MEMS电极的设计与加工成交公告
2025-11-25
湖北/武汉 中标结果
[HF20253541]MEMS电极的设计与加工成交公告
湖北/武汉-2025-11-25 00:00:00
湖北/武汉-2025-11-25 00:00:00
[**********]****电极的设计与加工成交公告
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*.项目名称：****电极的设计与加工
*.成交供应商名称：武汉高芯科技有限公司
*.成交供应商地址：湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路*号*号楼
*.成交金额(折合人民币)：*****元
*.付款方式：服务完成且验收合格后*个工作日之内付合同金额***%。
*.主要成交标的：
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序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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提供尺寸为*英寸，厚度为*.****纯度≥**.*的双抛晶圆 |
合同签订后*个月内 |
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设计****电极版图，并加工高精度石英掩膜版。 |
合同签订后*个月内 |
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使用光刻和镀膜等工艺，在氧化铝衬底表面制备****电极 |
合同签订后*个月内 |
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使用划片机将制备有****电极的晶圆划片 |
合同签订后*个月内 |
华中科技大学集成电路学院
****年**月**日
