[**********]钽酸锂薄膜上的啁啾型谐振器加工成交公告

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*.项目名称：钽酸锂薄膜上的啁啾型谐振器加工

*.成交供应商名称：武汉高芯科技有限公司

*.成交供应商地址：湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路*号*号楼

*.成交金额(折合人民币)：*****元

*.付款方式：服务完成且验收合格后*个工作日之内付合同金额***%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	提供钽酸锂薄膜衬底，对压电薄膜所在上表面抛光，衬底下表面为磨砂面。	合同签订后*个月内
*	设计谐振器的版图，并加工高精度石英掩模版	合同签订后*个月内
*	使用光刻和镀膜，在钽酸锂薄膜晶圆表面制备啁啾型谐振器。在谐振器表面制备**绝缘层，使用*对绝缘层表面进行抛光	合同签订后*个月内
*	使用划片机将制备有谐振器的晶圆划片	合同签订后*个月内

华中科技大学集成电路学院

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