真空热压烧结系统（GY202504804）采购公告
2025-11-24
山东/济南 招标采购
真空热压烧结系统（GY202504804）采购公告
山东/济南-2025-11-24 00:00:00
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真空热压烧结系统（***********）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
| 项目名称 | 真空热压烧结系统 | 项目编号 | *********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 新一代半导体材料研究院 | 付款方式 | 货到验收合格后**个工作日付款 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 定制款签订合同后***天内到货。 | |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | 山东大学中心校区新一代半导体材料研究院 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 真空热压烧结系统 | * | 台 | 真空应用设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 晨华 |
|---|---|
| 型号 | ********* |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
主要参数： *.额定功率:**** 电源电压**** ****三相五线制 *.炉型:立式结构 顶部开盖装取料方式 *.加热方式:等静压石墨,电极相数三相,最高温度****℃ *.工作区尺寸:**********(***) *.压头直径:Φ*****,压力行程*~*** **(数显) *.最大压力:***(伺服液压)，压力区间*.*****%**，控压精度 *.*%**; *.加压方式:由下向上单向加压 *.冷态极限真空度:*.****** (***;****℃时真空度为*.********，烘炉后)，压升率≤*.***/* *.温度控制方式:室温*****℃采用钨铼热电偶，*********℃采用日本千野品牌红外仪测温。**.温度控制精度:温度高于 ***℃ 时≤±*℃ **.式样尺寸范围(石墨模具):********* **.炉体主体颜色:贝灰色，内层 ***不锈钢，外层***不锈钢油漆处理 **.石墨件灰分:≤***** 结构说明 *.真空腔室 采用双层水夹层结构，内壁为***不锈钢抛光处理，外壁采用***不锈钢油漆防锈。上、下 ***不锈钢法兰组焊成筒型结构，法兰平面开设密封槽。采用“*”型圈真空密封，并设水冷装置(防止因温度过高“*”型圈老化)，设有钨铼热电偶测温孔、抽气孔、观察孔等。 炉盖采用双层夹层封头结构，内壁为***不锈钢抛光处，外壁为***不锈钢组焊而成并设置连杆启开结构，操作手柄将炉盖顶升 **~**** 移开炉盖，便于进出料操作方便灵活、炉盖上设水冷不锈钢压头、压紧装置、炉盖锁紧装置等。炉底同样采用双层水冷封头结构(内外层材质同炉盖一致)，固定在炉体底部并设有电极引入装置，水冷 不锈钢下压头可调节高度，并安装高精度位移传感器。 *.隔热屏(保温系统) 炉内保温层采用灰分≤****** 的软碳毡复合结构，最内层采用石墨筒固定发挥其高温情况下的坚固性，外层采用多层软碳毡发挥保温效果好的特点+不锈钢套加以固定,并且焊接多道加强筋以保证长期使用不变形。发热体更换方便，整个加热区可以作为一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理，耐热冲击性好，便于快速加热。 *.加热室(加热元件) 发热体采用等静压石墨制作成圆形结构,在均温区外环形对称分布。采用三相加热方式确保有效工作区尺 寸为*******高 *****(模具外径尺寸)内的温度均匀性和工件的均匀受热。采用干式变压器，安装在控制柜内，输入功率约****，输入电压 ****、****，空炉平均升温速率****℃/***，最高温度达到****℃。绝缘套与水冷铜电极可靠连接，避免因热处理过程中材料挥发造成短路而烧毁电极。炉内石墨垫块及石墨电极等均采用等静压石墨制成。 *.保护气体充放气系统 进气:******* 型******* 品牌的压力传感器+电控阀+单向阀+气速率 ****/***质量流量计(氮、氩气， 烧结工艺要求进气量较小的时候会在*****、*****左右/***)+氩气快充管路+红外孔吹扫(氩气、浮标流量计)。 负压:水冷翅片式过滤器(可打开清理)下设有焦油收集器(可打开清理)+粉尘过滤器(可打开清理或 更换滤芯)+比例阀，闭环控制，通过程序设定，配合比例阀，实现微负压烧结功能(绝压:*******); 正压:微正压≤*****的烧结功能,正压流动、正压非流动、手动三种模式。 *.气控系统 由静音小型空压机、气动三联件、电磁换向阀、管路构成。用来驱动真空系统的气动阀门。 *.温度测量方式 室温*****℃采用*组保护套管一体式钨铼热电偶测温，并配备热电偶自动退出装置; ***℃ *****℃采用*台进口品牌千野红外义测温; 另配有采用*支*型电偶监测保温层温度，主测温装置一旦出现故障，将自动切断加热程序并报警，起 到保护设备和烧结工件的安全性。 *.液压装置 压机机构采用伺服加压，由油箱、液压泵、压力传感器、伺服控制阀、油缸、上下横梁、*立柱框架及锁紧螺母等组成，立柱是经精加工后表面再镀硬铬处理，确保持久如新，上下锁紧螺母为高强度合金钢，能承受压机相应的承载力。 经严格加工及调整使上下横梁的中心安装孔具备良好的同心度，具有较大不锈钢面板的工作平台，用来放置真空炉体，并配备阶梯式操作小平台。 真空热压烧结系统专用的液压系统，具有泄压与保压功能，用来驱动油缸，压力控制采用进口产品，自动 整定次级压力，并能有效补偿由于热延带来的压力波动，压头测距采用光栅电子尺(测距精度±*.****)。压机设计是经过专业软件计算，本设备采用的是活塞式往复式液压油缸。油缸为活塞式往复式液压油缸，具有启始压力低、油缸摩擦系数低等特点。加压时活塞由无杆侧向有杆侧运动，液压缸无杆侧输出力。 *.水路分配系统 主进出水管采用密闭式结构，支路水管安装有迷你型不锈钢阀门、快插式连接方式，可手动调节水流量 大小。冷却水总管进入后，经过各支管送到炉体、炉盖、炉底、水冷电极、真空泵等需要冷却水的地方，然 后汇总到回水总管排出。总进水管路设有电接点压力表，具有断水声光报警自动切断电源功能。关键部位电 极处安装有水流量报警器，在系统具有安全报警的基础上水路系统又一级安全屏障。 随炉配备一台一体式风冷工业冷水机及相应的连接水管*米，阀门、接头*套，电源线*米，满足设备 运行时所需要的冷却循环水要求。 *.真空系统 采用二级真空泵配置，由壹台*****型直联泵配油烟过滤器、壹台 ******型凸腔油扩散泵配冷阱(防止 油蒸气进入炉膛)，气动真空挡板阀、手动放气阀(破真空)、真空压力表、真空过滤器等组成，真空管道与 泵的联接采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动)，真空度的测量由数显复合真空计执行。 **.安全及采集控制系统 安全声光报警系统包括水压异常报警，安装有水流量数显流量计及超温报警单元冷却水的状态并可触发紧急报警停机;温度异常报警侯翠荣: 紧急报警停机;温度异常报警(监控电流，电压，压力，温度)、发热体断路短路异常报警等。温度、压力 等具有上限报警、极限保护功能，报警后可清音确认，故障排除后复位确认;均记录在监控系统内。 另具备和电话连接的时刻电子报警功能，如发生温度异常，水压异常、压力异常、电压异常等故障时刻向连接的手机以来电和短信(约****条)的两种方式发送信号。 注:时刻电子报警功能在使用时会产生相关的电信服务费用，设备供应商提供免费使用*年时间。 **.控制系统 采集部分以 **"液晶触摸屏和可编程控制器***为核心，中文界面。 温控控制部分具有多组*.**功能自动控制，具有超温声光报警功能，电控系统还具有过流、断水、超温等声光报警功能。 电控屏箱按仿威图样式制作操作方便,主要电器元件采用欧姆龙或施耐德品牌，并设有通风系统，确保不会因为环境温度过高而影响模块内元器件功能。 电气控制系统集中在控制柜中，面板上设计了**"液晶触摸屏、真空计等。 运行操作部分采用无仪表控制方式，以触摸屏和可编程控制器***为核心，配有*** ******软件控制系统，配以空气开关、接触器、继电器、指示灯等元器件，通过各种传感器的信号，实现炉体机械机构的逻辑控制。对温度、真空度进行记录、存储、实时显示、设定工艺曲线，具有多组工艺配方的储存、调用功能。 全部工况动作配有安全联锁保护，具有超温断电，停水断电(停止加热、真空泵等)。触摸屏具有中文操作界面，设定与自动采集数据曲线、数据列表显示、数据记录、导出、截图等功能,自动跳转报警界面，对各个工艺参数实现动态显示，也可实时观察历史曲线，可以实现权限管理，防止设备出现非授权操作。 控制系统特点 (*)、配方功能 *. 支持多组配方功能，每个配方多达**步，可设定温度、压力、时间、***号、功率限幅。 *. 支持配方查看、新增(含以模板新增)、保存、替换、删除、调用。 *. 支持工艺跳步(向前、后跳)，可选温度、压力跳步变化模式:渐变模式和突变模式，即跳步时，**值 是当前值还是目标步的设置值。 *. 工艺运行时，配方当前步和所调用的 *** 背景色改变，方便查看。 *. 配方编辑时，修改内容的背景颜色改变，便于突出显示(特别是对于以模板新增的配方，方便比较)。 *. 十组温度***，一组压力***，支持运行过程中对***参数的查看和实时修改。 *. 界面显示压头运动的位移值及位移速率，以方便观察及分析物料变形情况。 (*)、数据管理 *. 支持时实曲线，可修改*、*轴最大、小值，实现曲线放大和缩小，以便于观察当前工艺局部或整个曲 线。 *. 支持时实曲线截屏功能。 *. 支持数据记录和历史数据导出，用户可修改数据记录间隔时间，包含:**、**、真空度、气氛压力、监 测温度、水温、位移、位移速率等。 *. 历史曲线查看功能。 *. 报警记录查询功能，包括但不限于:通信检测、传感器故障检测、报警点检测、水温水压气压异常。 *. 系统剩余存储空间显示，存储容量不足报警提示功能，支持用户部分清除或清空数据。 (*)、操作方便 *. 支持异地远程实时在线编程、调试及维护。 *.支持以多级权限登陆操作系统，可设置多个操作用户。 *. 对于温度、压力、气氛均支持手/自动控制。 * 温度/压力 *) 手动:指操作者通过多圈电位器控制; *) 自动:通过*** 程序控制。 *.气氛 手动:指操作者通过触摸屏**/***控制; *)自动:设置气氛上、下限和回差，气氛压力控制在上下限范围内。 *. 支持温度伺服启动功能，即工艺从当前温度开始运行。 *. 工艺保持(即暂停)功能。 *.**自整定可设定自整定温度或压力值、自整定幅度，支持自整定过程中退出。 *. 报警点可设定，如:温度上限，压力上限。 *. 针对不同层级报警，系统自我保护功能，如: *.**超上限报警点，将停止工艺。 *. 传感器故障，将停止工艺。 *. 红外仪对焦点检测，若对焦不正，将停止工艺。 *. 控温过程中，温度********;*℃时，将发出黄色报警。 *. 依据报警的重要程序，提示不同声光报警信息并记录。 (*)、系统控制精度 *. 精度: *. 液压压力传感器响应优于***。 *. 控温精度，温度高于***℃时，对于石墨发热体，保温精度±*℃; **.变压器及联接 选用与使用功率相匹配的干式变压器及铜排，变压器安装在控制柜内。 **.其他 为分散炉体重量，减少楼板的承载，特将炉体下方布置有高度约*****的碳钢材质的承重台(黑色),四 面均设有叉车位，方便手动液压搬运车(地牛)的托运。 .
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