[**********]硅基栅敏场效应晶体管气体传感器流片加工成交公告

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*.项目名称：硅基栅敏场效应晶体管气体传感器流片加工

*.成交供应商名称：武汉高芯科技有限公司

*.成交供应商地址：武汉市东湖新技术开发区黄龙山南路*号

*.成交金额(折合人民币)：******元

*.付款方式：合同签订后*个工作日之内预付合同金额的**%，服务完成且验收合格后*个工作日之内支付合同金额**%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	检测电极*，厚度，各层厚度公差 ±% 膜层均匀性：面内厚度偏差≤*%，保证电学性能一致性	合同签订后*个月
*	尺寸：英寸，线宽：＞** 目标线宽（μ）公差≤±.μ，线宽均匀性（同一图形）≤±.*μ	合同签订后*个月
*	绝缘层***，厚度公差：±%，面内均匀性：≤*%（同一衬底不同位置厚度偏差）	合同签订后*个月
*	划片尺寸为******，长度/宽度偏差：≤±.***，对角线偏差：≤.***	合同签订后*个月

华中科技大学集成电路学院

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