真空系统包括如下构件： **** ******/*** 分子泵，排气速度:*** */*；极限真空： ******。 @复合真空计，测量范围大气*****.******** @机械真空泵 抽速约为：** **/*.; @插板阀及角阀：可使用不少于***,**次，气动。 电控系统及其他 控制软件 *真空系统通过工控机控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止，软 件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全。 支撑支架 该系统建立在铝合金型材框架上，框架上装有真空室，真空构件，电控，操作界 面。框架和盖板的饰面为铝阳极氧化，非无尘室同样适用。框架配有水准调节脚。

货物的免费保修期为*年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。 付款方式：设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的***%。