存储芯片用氮化钛底电极衬底
2025-11-20
广东/深圳 招标采购
存储芯片用氮化钛底电极衬底
广东/深圳-2025-11-20 00:00:00
发布时间:********** **:**:** 截止时间:********** **:**:**
基本信息:
国产含税
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货到验收合格后付款
合同签订后*个日历日内交货,产品如有附件、备品备件及专用工具应随产品一同交付
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采购明细:
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设备名称
数量/单位
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规格参数
质保及售后服务
附件
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存储芯片用氮化钛底电极衬底
*(片)
*****
****标准的*** **单晶硅晶圆片
*** **标准晶圆搭载定制化存储芯片专用***电极阵列与互联结构,其表面各电极阵列均配置*个***公共电极及若干***独立电极,所有***电极向下衔接定制化独立单元结构,底层与晶圆衬底相连,***电极的电阻率介于****** μΩ·**之间,热导率介于**** */*·*之间。***独立电极采用直径****** **、高度** **的圆柱体设计,与单元结构直接连接,且***电极高度不低于周围氧化硅,高度差控制在* **以内;电极间隙填充****绝缘介质层,该介质层需满足介电常数*.***.*(* ***下)、击穿电场强度≥ ** **/**、表面粗糙度***值< *.* **的关键要求,确保绝缘性能与结构稳定性。定制化独立单元结构按从上至下顺序依次为** *****层、*** ****层及** *****层,通过**层重布线层(***)实现单元结构间高效电气互联,***线宽/线距需≤*/* μ*。晶圆加工工艺需满足***电极结构、独立单元结构及重布线层图形的最小线宽设计规则,其中重布线层最小线宽不大于* μ*,确保图形精度与器件长期可靠性。
(*) 质保期限为*年;(*) 提供优质的售后技术支持服务,开通热线电话接受甲方的电话技术咨询,如故障不能排除,须在**小时内提供解决方案和现场服务,待产品运行正常后撤离现场。如遇特殊情况,无法现场解决问题的,需提供备用货物服务保障正常工作。
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