一、采购单位：实验室与国有资产管理部

二、项目名称：匀胶旋涂系统采购

三、公开信息：

*.货物名称：匀胶旋涂仪：***************；无油真空泵：****** ***

*.数量：*套

*.关键技术指标：*、系统概述 *.* 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； *.* 防腐装置； ▲*.*设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； *.* 通信接口，蓝牙连接 *、处理腔体 *.* 处理腔体内径不小于***毫米； *.* *****芯片尺寸满足********直径的材料，方片*********，无需更换片托； *.* 腔体具有易清洁的***天然聚丙烯材质； *、旋转马达 *.* 转动速度至少满足****,******， *.* 旋涂加速度不小于**,******/***； *.* 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±*%； *、控制系统 *.*工艺时间设定范围至少满足******.****/**** ，精度不超过*.**； ▲*.*配有高精度***可编程的控制器，设置点精度小于*.***%； *.* 可存储不少于**个程序段，每个程序段可设置不少于**个不同步骤的速度状态； ★*.* 转速精度≤****，具有国际****标准认证，并且无需再校准； *、配套无油真空泵：真空吸附范围***** 英寸汞柱 (~*******毫米汞柱)；

*.预算金额：**,***.**元

*.拟成交供应商：武汉迈可诺科技有限公司

*.拟成交价格：**,***.** 元

实验室与国有资产管理部

****年**月**日