产品质量要求、技术指标 *：射频电源： *、射频电源输出功率：连续波/脉冲，可满功率****，*～***％连续可调功率输出可精确到瓦。 *、功率输出稳定度不超过设定功率的±*.*％。 *、射频电源工作频率：**.** ***，脉冲频率*********。 *、控制方式：本控/外控（模拟量、***）。 *、功率指示：射频源功率输出指示，反射功率指示。 *、报警指示：电源指示，正常指示，故障报警（过热过流及驻波报警）指示均使用***显示。 *、谐波输出小于****，射频电源冷却方式：风冷 *、输出阻抗及接口：标准负载（**Ω），使用标准同轴接头，配备软电缆 *、**电源：****±***，****。 **、射频电源核心部件：采用进口晶体管，长寿命**小时使用。 *：自动匹配器 *、阻抗匹配范围：(*.*～**)Ω**(*～**)Ω。 *、射频反射功率（最大正向功率输出时）：**≤***。 *、自动匹配时间：*—*秒。连续工作时间：**小时。 *、射频输入/输出连接器：铜排，**Ω，阴性。 *、使用环境温度：*—**℃。相对湿度＜**%。 *、**电源：******±**%，**/****。

按国家规定行业标准提供服务