*、放大倍数：*********。 *、齐焦距离：≤****。 *、观察筒：三目，**°倾斜。 *、目镜：***，视野范围≥****。 *、转换器：≥*孔、***插槽。 *、高级金相物镜**/***/***/***/**** ★*、晶圆检测平台：可适配*、*、*、**英寸晶圆转盘，可旋转扫描适用于晶圆检查。 ★*、*轴行程≥*****，**工作范围≥*****，机身可以***°旋转。 ★*、测试平台：高精度光学平台≥***(*)****(*)***(*)，蜂窝板面板。 **、反射照明器：***或卤素灯照明，光纤传输，中心可调。 **、偏光附件：可调旋转检偏台。 **、成像系统：*英寸靶面，****万像素，****.*输出。

提供*年原厂质保证明，质保叁年。