＂*. 独特的多波长椭偏技术（*****, *****, *****, *****），同时满足高精度高速度的需求 *. 超长寿命***光源，＞*****小时寿命 *. 专利的固定传感器椭偏技术，超高速测量，通常测量*点只需要*秒，并保证长期机台稳定性 *. 完美的厚度测量精度，大部分样品可在**采样时间的范围内达到*.******的精度 *. 全集成式测量系统，椭偏仪主机内置测量电脑与数据分析功能，通过网线连接任何电脑或平板上通过网页打开内置系统即可运行 *. 配置在线测量专用法兰 *. 光斑尺寸***** *. **** **** ** **厚度测量准确度*.****，准确度*.*******＂

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