设备名称

货物名称

技术性能参数

表面改性模块

微波加热分系统

*.★该部分由微波发生器、波导与调谐系统、红外测温仪、以及安装调试的辅材（如法兰、密封件、吸波/隔热材料等）构成，该部分及控制系统可集成至真空舱（与其他模块联合完成布局及控制系统设计，确保不与其他模块冲突）且满足在该环境下正常工作；

*.微波频率：*.*****；

*.★加热温度：≥****℃；

*.●微波额定功率：≥***；

*.●微波加热区域：坩埚尺寸≥φ****×***（单次处理量≥***模拟月尘样品）；

*.●红外测温仪测温覆盖范围：***°*~****°*。

低温冷却分系统

*.●通过外置冷源的方式实现微波加热后样品的快速冷却，达到样品区域温度最低≤****（配备相应的温度传感器实现低温监测），且不影响样品物性；

*.★该部分及控制系统可集成至真空舱（与其他模块联合完成布局及控制系统设计，确保不与其他模块冲突）且满足在该环境下正常工作；

*.由于低温冷却分系统与加热区域距离较近，解决热冲击与热负载匹配问题，保证样品组分和处理量不受干扰的情况下实现快速冷却（如果需要，应根据功能要求设计相应的机电控制模块）。