*.样品台为*寸左右圆形卡盘； *.样品台可水平***度旋转，微调±**°,微调精度*.*度； *.***轴移动行程：** **,移动精度** **;定位精度：***轴≤*.*μ*,重复定位精度±*.**μ*; *.多通道检测：≥*独立探针，支持电化学/光学同步采集； *.显微镜变焦范围：*.***.**;*.*轴调焦范围** **;

原厂质保≥*年

*.双通道采样模块，支持同步输入/输出； *.电源最大输出：****,**直流/**.**脉冲； *.电流测量范围：±********(脉冲最大**.**); *.电压测量范围：±*.*μ******; *.内置脉冲测量模块，最小间隔**μ*; *.具备综合的*象限电源和测量能力，内置*位半数字万用表； *.系统支持****命令集，可用于二次开发；

原厂质保≥*年