微纳焦点X射线源(清采招第20250491号)单一来源公示
2025-11-11
北京 招标采购
微纳焦点X射线源(清采招第20250491号)单一来源公示
北京-2025-11-11 00:00:00
北京-2025-11-11 00:00:00
微纳焦点*射线源(清采招第********号)单一来源公示
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清华大学
微纳焦点
*
射线源
采购
项目
单一来源公示
一
、采购人：清华大学
二
、地址：北京市海淀区清华园
三、联系方式：王琦
*****@********.***.**
四、项目名称：
微纳焦点
*
射线源
采购
项目
项目编号：清采招第
***
*****
号
项目预算：
***.*
万元人民币
五、采购内容：
微纳焦点
*
射线源
六、采用单一来源采购方式原因及说明
高功率
、
微纳焦点的
*
射线源是发展半导体晶圆缺陷三维检测技术与系统的关键核心部
件
，
对实现百纳米高空间分辨率
、
高通过率的晶圆缺陷检测至关重要
，
具有不可替代性
。
目
前只有
瑞典
********
公司的
********
**
性能指标和稳定性满足项目
的
技术
需求，这种光
源目前无国产替代
，
故采用单一来源方式进行
。
*******
量子科学仪器贸易
（
北京
）
有限公
司
是
瑞典
********
公司
指定
代理商
。
七、
主要技术要求
：
*.
光机电压：
******
**
；
*.
最大靶功率：
***
以上
；
*.
靶材料：钨
/
金刚石基底
；
*.
最小分辨力：好于
*****
；
*.
最小对焦距离：好于
***
μ
*
；
*.
阴极材料：
****
；
*.
工作模式：透射靶
；
*.
焦点稳定性：好于
***
**
（标准差）
；
八、
制造商：
********
**
制造商地址：
***
*********
****
**,
***
**
*****,
******
代理商：
*******
量子科学仪器贸易（北京）有限公司
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