高精密单面光刻机结果公告
2025-11-11
湖南/长沙 中标结果
高精密单面光刻机结果公告
湖南/长沙-2025-11-11 00:00:00

高精密单面光刻机结果公告

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中标信息

成交供应商: 长沙市岳麓区万鼎盛化玻璃产品商行
选择理由: 符合需求
质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件递交至学校采购管理部门,逾期不予受理。
项目名称 高精密单面光刻机 项目编号 *********
项目编号 *********
公告发布日期 ****/**/** **:** 公告截止日期 ****/**/** **:**
公告截止日期 ****/**/** **:**
采购单位 湖南大学
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
采购预算 ¥***,***.** 成交金额 ¥***,***.**
成交金额 ¥***,***.**
送货/施工/服务期限 合同签订后**天内到货
送货/施工/服务地址 两山一湖中四栋
售后服务 按行业标准执行
付款条款 国产设备:*.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的(*)%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额***%发票;*.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在**个工作日内支付合同总金额的(***)%;*.在验收合格之日起的(*)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。

采购清单
*
采购内容 数量单位 分项报价
高精密单面光刻机 *(台) ¥***,***.**
是否进口
品牌及型号 成都鑫南光
技术参数要求 一.技术参数: *、曝光类型:单面,接触式; *、曝光面积:***×*****; *、曝光照度均匀性:≥**%; *、曝光强度:******/***; *、紫外光束角:≤*°; *、紫外光中心波长:*****(也可以配专用曝光头实现*线、*线、*线的组合); *、光源质保期:*年; *、曝光分辨率:*.*μ*; *、曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光; **、显微镜扫描范围:*: **** *: ****; **、对准范围:*、*:±***,*:±*°; **、套刻精度:*μ*; **、分离量;*~**μ*可调; **、接触-分离漂移:≤*μ*; **、曝光方式:密着曝光,可实现硬接触、软接触和微力接触曝光; **、找平方式:三点式自动找平; **、显微系统:双视场***系统,显微镜***~****连续变倍(物镜*.******连续变倍),双物镜距离可调范围****~*****,计算机图像处理系统,**″液晶监视器; **、掩模版尺寸:*″×*″、*″×*″、*″×*″; **、基片尺寸:φ*″、φ*″、φ*″; **、基片厚度:*.*~***; **、曝光定时:*~***.*秒可调; **、对准方式:手动; **、曝光头转位:气动; **、设备所需能源: 电源:单相****** **** ,功耗≤*.***; 洁净空气压力:≥*.****; 真空度:**.*****~**.*****; **. 尺寸和重量: 尺寸:机体**** **(长)×*** **(宽)×******(高),重量:≤*****; **、******型光刻机的组成: 由主机(含机体和工作台),对准用单筒显微镜,***鹰眼曝光头组成; **、附件如下: 主机附件:(出厂时安装到机器上) 显微镜组成 单筒显微镜二个 两个*** 视频连接线 计算机和**"液晶监视器 二.配置: *.曝光头: ***紫外曝光头一台。 *.***显微显示系统: *)***数码摄像机二只; *)可变倍显微镜二只; *)计算机图像处理系统一套(含计算机一台、采集卡一件、**″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套)。 *)焦距、物距调节台一套; *)***同轴照明光源二台。 *.对准工作台; *)*″×*″、*″×*″、*″×*″版架各一件; *)φ*″、φ*″、φ*″、承片台各一件; *)三点自动找平机构一套; *)高精度千分尺对位平台一套; *.电气控制台: *)***可编程控制器一台; *)电磁阀及控制系统一套; *)气动、真空仪表一套。 *.备附件: *)真空软管(φ***)***; *)电磁阀七只; *)紫外光强计一只; *)无油静音真空泵一台; *)无油静音空压机一台。 *.技术资料: *)使用说明书;

该项目其它公告


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