名称技术要求 极限真空度** ** 加热方式电阻加热 工作温度室温－*－ ***℃ 加热温区单温区 温区长度***** 最大称重**** 温控模式***控制 控温精度±*℃ 测温传感器热电偶 炉管材料高纯石英脱羟管 炉管规格/型号Φ**（根据实际情况定） 炉管密封方式氟橡胶*型圈密封 称重精度*.*** 湿度传感器精度±*% 加热功率*.*** 系统总功率*** 配电电源****/**** 气源压力*.**** 冷却水流量*.**/* *.***** 占地面积根据现场 数据导出*** 操作界面触摸屏

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