深圳医学科学院无掩膜激光直写光刻机意向公开
2025-11-10
广东/深圳 招标采购
深圳医学科学院无掩膜激光直写光刻机意向公开
广东/深圳-2025-11-10 00:00:00

深圳医学科学院无掩膜激光直写光刻机意向公开

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深圳医学科学院无掩膜激光直写光刻机意向公开
采购单位:深圳医学科学院
项目名称:无掩膜激光直写光刻机
预算金额(元):*,***,***.***
采购品目:其他光学仪器
采购需求概况:名称:无掩膜激光直写光刻机
主要功能:在光刻胶、薄膜等材料上加工微米至纳米级图形。
采购数量:*台
质量要求:
分辨率:至少可达最小特征尺寸*.*微米,至少可达最小线宽*.*微米。
*.曝光速度:*英寸晶圆***纳米激光曝光时间[最小值]:**分钟。
服务要求:
*.安装与培训调试:
供应商需提供专业的安装调试服务,提供全面的操作培训和维护培训,确保设备正常运行。
*.售后服务:
提供至少*年免费保修服务。
保修期内免费提供维修和更换服务。
提供**小时技术支持热线,快速响应故障报修。
安全要求:设备需符合相关国标电器安全标准(如**认证)。
时限要求:合同签订后**个月内完成交货。
联系人:张老师
联系电话:*************
预计采购时间:*******
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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