深圳医学科学院高精度紫外光刻机意向公开
2025-11-10
广东/深圳 招标采购
深圳医学科学院高精度紫外光刻机意向公开
广东/深圳-2025-11-10 00:00:00

深圳医学科学院高精度紫外光刻机意向公开

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深圳医学科学院高精度紫外光刻机意向公开
采购单位:深圳医学科学院
项目名称:高精度紫外光刻机
预算金额(元):*,***,***.***
采购品目:其他光学仪器
采购需求概况:名称:高精度紫外光刻机
主要功能:采用接触式曝光模式,在光刻胶、薄膜等材料上加工微米级别以内的电路图案。
采购数量:*台
质量要求:
*. 最大衬底尺寸:*英寸圆形,并且在配合对应的夹具时,可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片。
*. 基于主流操作系统的图形化控制软件,软件操作方便快捷,具有工艺编程、设备各部件控制、设备状态监控等功能,采用分级式用户管理,可设置多个用户,方便设备管理;设备配备专用的操作摇杆,进行显微镜、对准台等部件的移动和操作。
联系人:张老师
联系电话:*************
预计采购时间:*******
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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