*.工作真空度： ≤**** *.真空泵种类： *****直联旋片式机械泵 *.漏率：≤****（*** **/*） *.真空计：薄膜真空计 *.气压平衡控制：压力可单独设置并自动维持，波动范围≤*% *.加热方式：灯管红外加热 *.最高温度：***℃ *.升温速率：≥**℃/*（空炉） *.降温速率：可控降温（软件自动控制）；自然冷却（移走加热炉膛） **.温控精度：≤±*℃ **.温控方式：上下独立控温 **.基板尺寸：******* **.温控系统：可实现精确自动控温，**段升降温程序，预存***条以上曲线 **.测温方式：*型铠装热电偶（直径*.***） **.控温点：*个（上下石墨板） **.恒温区：*****（处理*片*****×*****基板） **.恒温区均匀性：±*℃ **.工艺气氛：**、** **.气路控制：两路质量流量计********** **.样品冷却：炉膛自动移开，强制风冷 **.控制界面：*英寸触摸屏 **.控制方式：半自动控制 **.曲线显示： 设定温度、实际温度、真空度均可实时描绘 **.历史记录：温度、压力等，可*盘导出 **.冷水机：********* **.整机功率：****，**** **.外形尺寸：***************

*、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；*、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；*、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；*、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；*、其他按行业标准提供服务；